이번에 MOSFET을 공정하게 되었는데요

ID-VD에서 VG=0V인데도 VD가 증가할수록 전류가흐르는 모양이 나오게되었어요...

아무리 이유를 찾아봐도 모르겠어요 ㅠ

short channel도아니고 high doping도아니고...

NMOS에 STI공정 진행하였고 채널길이고 1마이크로정도 되는녀석인데 ㅠㅠ

왜 흐르는걸까요...

ID-VD의 전류가 흐르기 시작하는 VD가 높은 이유는 Metal에서 Alloy가 덜되서 컨택저항이 높아서 그런걸로는 알고있는데 

leakage처럼 VG=0인데도 VD가 증가할수록 전류가 왜 흐를까요 ㅠ